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Ernesto Rezende Souza Graduação em Química: bacharelado pela Universidade de Brasília (2005), mestrado em Química pela Universidade de São Paulo (2008) e doutorado em Química pela Universidade Estadual de Campinas (2013). Pesquisador visitante na Katholieke Universiteit Leuven – Bélgica (2013-2014) e no Centro de Tecnologia da informação Renato Archer (2014-2015). Autor de 14 publicações e 1 patente. Tem formação em síntese inorgânica, especialmente de compostos de coordenação de íons lantanídeos e caracterização química e espectroscópica de materiais funcionais, como sistemas híbridos e compostos para camada emissora em OLEDs. Atualmente trabalha com instrumentação científica para síntese e caracterização espectroscópica e magnética de novos materiais e estruturas nano e micrométricas. |
Ernesto Rezende Souza
Quantum Design International
Resumo
Em termos de nanoestruturação e microfabricação, a qualidade do filme depositado é tão importante quanto a resolução do padrão utilizado, sempre levando em conta a composição do filme e a aplicação desejada. Assim, serão apresentadas a técnica de deposição por ALD e, em seguida, a microfabricação por litografia a laser (sem máscara) e a nanoestruturação 3D por hot tip, apontando as diferenças entre uma e outra. Serão dados exemplos de aplicações para cada uma das técnicas apresentadas.